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70年代以来制成了周边固定支撑的电阻和硅膜片的一体化硅杯式扩散型压力传感器。它不仅克服了粘片结构的固有缺陷，而且能将电阻条、补偿电路和信号调整电路集成在一块硅片上，甚至将微型处理器与传感器集成在一起，制成智能传感器（见单片微型计算机）。这种新型传感器的优点是:①频率响应高(例如有的产品固有频率达1.5兆赫以上),适于动态测量;②体积小（例如有的产品外径可达0.25毫米），

适于微型化；③精度高，可达0.1～0.01%；④灵敏高,比金属应变计高出很多倍，有些应用场合可不加放大器；⑤无活动部件，可靠性高，能工作于振动、冲击、腐蚀、强干扰等恶劣环境。其缺点是温度影响较大（有时需进行温度补偿）、工艺较复杂和造**等。应用编辑压阻式传感器广泛地应用于航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。在航天和航空工业中压力是一个关键参数,对静态和动态压力,局部压力和整个压力场的测量都要求很高的精度。压阻式传感器是用于这方面的较理想的传感器。例如,用于测量直升飞机机翼的气流压力分布，测试发动机进气口的动态畸变、叶栅的脉动压力和机翼的抖动等。在飞机喷气发动机中心压力的测量中，使用专门设计的硅压力传感器,其工作温度达500℃以上。在客机的大气数据测量系统中采用了精度高达0.05%的配套硅压力传感器。在尺寸缩小的风洞模型试验中，压阻式传感器能密集安装在风洞进口处和发动机进气管道模型中。单个传感器直径仅2.36毫米，固有频率高达300千赫,非线性和滞后均为全量程的±0.22%。在生物医学方面,压阻式传感器也是理想的检测工具。已制成扩散硅膜薄到10微米,外径仅0.5毫米的注射针型压阻式压力传感器和能测量心血管、颅内、尿道、子宫和眼球内压力的传感器。图3是一种用于测量脑压的传感器的结构图。压阻式传感器还有效地应用于爆炸压力和冲击波的测量、真空测量、监测和控制汽车发动机的性能以及诸如测量qiangpao膛内压力、**冲击波等兵器方面的测量。此外，在油井压力测量、随钻测向和测位地下密封电缆故障点的检测以及流量和液位测量等方面都广泛应用压阻式传感器。随着微电子技术和计算机的进一步发展，压阻式传感器的应用还将迅速发展。adp-055-18adp-090-09adp-090-18adp-090-36adp-180-09adp-180-18acm-055-18acm-090-09acm-090-24acm-090-60acm-180-09acm-180-18acm-180-20acj-055-09acj-055-18acj-090-03acj-090-09acj-090-12ack-055-06ack-055-10ack-090-04ack-090-08aep-055-18aep-090-09aep-090-18aep-090-36aep-180-09aep-180-18aem-090-06aem-090-14aem-090-30ae2-090-06ae2-090-14ae2-090-30apm-090-06apm-090-14apm-090-30ap2-090-06ap2-090-14ap2-090-30asp-055-18asp-090-09asp-090-18asp-090-36asp-180-09asp-180-18asc-055-18asc-090-09sdk-090-04jsp-090-10jsp-090-20jsp-180-10jsp-180-20jsp-180-30stx-115-07stx-230-07stp-075-07stp-075-10stm-075-07tkd-075-01stl-055-04stl-075-03sem-090-07sem-090-10se2-090-07se2-090-10spm-090-07spm-090-10sp2-090-07sp2-090-10xtl-230-18xtl-230-36xtl-230-40xsj-230-02xsj-230-06xsj-230-10xsl-fa-01xpl-230-18xpl-230-36xpl-230-40xel-230-18xel-230-36xel-230-40r20-055-18r20-090-09r20-090-18r20-090-36r20-180-09r20-180-18r21-055-09r21-055-18r21-090-03r21-090-09r21-090-12r22-055-18r22-090-09r22-090-24r22-090-60r22-180-09r22-180-18 r22-180-20r10-230-18r10-230-36r10-230-40r11-230-02r11-230-06r11-230-10r10-fa-01xml-230-18xml-230-36xml-230-40amp-055-18 amp-090-09amp-090-18amp-090-36amp-180-09amp-180-18btm-055-20btm-090-10r30-055-20r30-090-10can-pci-02can-imp-01